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SJ6000激光干涉測(cè)量儀與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測(cè)量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來源；而且測(cè)量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。

中圖儀器SJ6000機(jī)床激光干涉儀精度高，抗干擾能力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車間條件下測(cè)量大距離用。滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量，配以相應(yīng)元件后還可以測(cè)量角度、線速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測(cè)量精度、測(cè)量速度、測(cè)量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

中圖儀器金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

?SJ6000便攜式激光干涉儀通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6800激光干涉儀國產(chǎn)品牌測(cè)量分辨率0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng)、無線操作。具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、*高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。

以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機(jī)床精度測(cè)試的分辨率可達(dá)納米級(jí)。有測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度、直線度、線性、運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、定位精度、垂直度等檢測(cè)功能，且可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

中圖儀器的國產(chǎn)sj6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)平行度、線性測(cè)長、直線度、垂直度、角度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。