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加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)和補(bǔ)償?？梢詫⒕€性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000國(guó)內(nèi)激光干涉儀可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量，還可以實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、加速度、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

?GTS激光跟蹤干涉儀器具有μm級(jí)別精度、百米工作空間的優(yōu)點(diǎn)，是一臺(tái)主要用于百米大尺度空間三維坐標(biāo)精密測(cè)量的高性能光電儀器?？捎糜诔叽鐪y(cè)量、安裝、定位、校正和逆向工程等應(yīng)用。

?便攜式激光干涉儀器可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

?中圖激光跟蹤儀大尺寸測(cè)量?jī)x器基于球坐標(biāo)系的便攜式坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)，適合于大尺寸工件配裝測(cè)量。能對(duì)空間運(yùn)動(dòng)目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時(shí)測(cè)量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。在汽車、航空航天和通用制造領(lǐng)域工裝設(shè)置、檢測(cè)和機(jī)床控制與校準(zhǔn)應(yīng)用中得到了普遍認(rèn)可。

SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測(cè)量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機(jī)床誤差來(lái)源；而且測(cè)量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過(guò)程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。